技术知识 · 编辑整理 · 2026-10-09

先让一个试验回答一个清楚的问题

小批验证前应写出主要响应量、拟研究因素和可接受的检测误差。若一次同时改变材料、设备和测试程序，就很难说明结果来自哪一个变化。可以先区分必须研究的因素与需要保持一致的背景条件，再根据样品预算安排试验，而不是加工结束后才寻找解释。

把已知差异纳入分组

NIST的实验设计资料说明，区组设计用于处理需要控制的背景因素，并可在组内进行随机安排。对于项目验证，批次、测量日期等已知差异可作为方案讨论对象。是否适合分组，要结合实验单位和研究目标判断，不能机械地按每个设备或每一天分开。

重复测量与独立样品不是一回事

同一颗样品测量多次，有助于观察测量稳定性，但不能自动替代多个独立样品。报告应明确重复的对象，是同一测点、不同芯片还是不同晶圆。结果比较时也要保留层级关系，避免把所有读数混在一起，让样本数量看起来比实际更大。

先制定分析方法再看结果

与J9官网开展联合验证时，建议提前确认分组、异常处理和分析方式，并保留试验执行中的偏离记录。本文不规定统一样本数量或统计阈值；具体设计应由了解工艺与统计条件的人员共同评审。

参考资料

• NIST：随机区组设计